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PCB板卡超聲波清洗機-威固特VGT-1609FP
PCB板卡其核心是采用FPGA芯片,芯片主頻為100MHZ。
FPAG芯片的優(yōu)點:
由邏輯單元、RAM、乘法器等硬件資源組成,通過將這些硬件資源合理組織,可實現(xiàn)乘法器、寄存器地址發(fā)生器等硬件電路。
芯片清洗在半導(dǎo)體工業(yè)中,關(guān)于清洗是非常重要的一步,從沙礫到芯片,“點石成芯”會主要經(jīng)歷硅片制造、晶圓制造、芯片封裝和芯片測試幾大流程,清洗則貫穿了芯片制造的全產(chǎn)業(yè)鏈,也是重復(fù)次數(shù)最多的工序。
所描述的工序包括三類:
硅片制造過程:清洗拋光后的硅片,保證表面平整度和性能,提高后續(xù)工藝的良品率。
晶圓制造過程:在光刻、刻蝕、沉積、離子注入、去膠等關(guān)鍵工序前后清洗,減小缺陷率。
芯片封裝過程:根據(jù)封裝工藝進行TSV清洗、UBM/RDL清洗、鍵合清洗等。
威固特VGT-1609FP光學(xué)超聲波清洗機清洗芯片后可以滿足以下要求:
1、不會殘留干燥斑點和污痕;
2、不會有泛白、泛藍等的化學(xué)變質(zhì),不會有暗傷等的物理變質(zhì)。
清洗設(shè)備基礎(chǔ)性原理:
清洗過程中工件通過超聲波高頻產(chǎn)生的“氣化現(xiàn)象”的沖擊和系統(tǒng)自身不停地作上下運動,增加了液體的摩擦,從而使工件表面的污垢能夠迅速脫落,實現(xiàn)其高清潔度的目的。
威固特VGT-1609FP光學(xué)超聲波清洗機大概配置:
設(shè)備共有16個功能槽,配置有環(huán)保液處理系統(tǒng)、循環(huán)過濾系統(tǒng)、自動恒溫系統(tǒng)、拋動系統(tǒng)、超聲波清洗系統(tǒng)、抽風(fēng)裝置、IPA漂洗系統(tǒng)、IPA烘干系統(tǒng)等。設(shè)備采用環(huán)保型水溶劑洗滌、純水漂洗、IPA烘干(防爆)等成熟工藝,為環(huán)保型清洗機。
清洗流程:
上料→蒸餾回收系統(tǒng)→1環(huán)保液→2環(huán)保液→3環(huán)保液→4環(huán)保液→5洗劑清洗→6洗劑清洗→7市水漂洗→8洗劑清洗→9洗劑清洗→10純水漂洗→11純水漂洗→12純水漂洗→13IPA漂洗漂洗→14IPA漂洗→15IPA漂洗→16IPA烘干→下料。
超聲環(huán)保溶劑槽結(jié)構(gòu):
1. 第三槽液滿后向前溢流,最后由第一槽溢流口流至蒸餾回收槽。蒸餾回收后的溶劑補至第三槽;
2. 各槽底部皆設(shè)排液閥;第一槽與第二槽底部有球閥連通;
3. 槽體及管路:各清洗缸、槽內(nèi)注入3/4深的清水,一小時后檢查各缸體及液路管道與閥門不應(yīng)出現(xiàn)滲漏現(xiàn)象。
超聲水劑清洗槽:
1. 每槽設(shè)四面溢流口,溢水槽寬35 mm,各槽皆為獨立循環(huán)槽, 由循環(huán)泵將洗劑由儲液箱抽出經(jīng)過濾后再運回清洗槽,即子母槽循環(huán);
2. 設(shè)置獨立循環(huán)過濾系統(tǒng);
3. 各槽底部設(shè)排液閥且互相串聯(lián)連至總排管;
4. 槽內(nèi)設(shè)溫度感應(yīng)器,溫控范圍:RT-100℃;
5. 槽外設(shè)置拋動。
超聲IPA蒸汽干燥槽:
蒸汽浴洗的加熱方式采用高溫油(導(dǎo)熱油或采用蒸汽)外包間接加熱,由于高溫油加熱溫度高,且對IPA加熱密度均勻,因此可以獲得均勻、足夠地蒸汽密度,獲得良好的蒸浴效果和干燥效果。因是外包間接加熱,安全性高;
為減少揮發(fā),降低使用成本,防止異味的溢出,又可獲得良好的冷卻干燥效果。因此,在上部設(shè)足夠冷卻區(qū)間,并分為兩層冷凝管冷卻,由冷水機提供冷卻源(需方自備)。采用“大肚婆”的形式;
IPA由于易溶于水,一定時間后濃度會降低,為保證蒸浴和干燥效果,需要定時更換IPA溶液。更換時可以通過球閥控制,排放到廢液儲存箱;
高精度表面清洗除前面需要有合理的清洗工藝和配置外,更需要良好的脫水效果。工件表面如果有任何垢點或積水點,最后都將影響清洗效果。IPA有較高的沸點,又能較好的溶于水,經(jīng)過前面IPA的有效脫水和該槽的蒸汽浴洗,工件表面已僅存IPA,經(jīng)過高溫后有效地散失,可以實現(xiàn)表面高清潔度和干燥之目的。